名称EE/span> 主动空气谁E系绁E/span>
型号EE/span> PEPS®II
品牌EE/span> TMC
概述
PEPS® II建立在TMC皁E*PEPS®E精寁E子定位系统)基础上并对其进行亁E进。通迁E加新皁E字控制器EPEPS® II更易于使用E提供亁E多功能E还有一个改进的用户界面。PEPS®II是一种用于TMC气动隔振系统的数字非接触式高度控制系统。这种系统通常匁E机械高度阀和机械高度传感连杆。E用匁E需要改喁E定时间和提高产量的半导体制造设夁E及需要E*噪声性能和平台稳定性皁E寁E验室环墁EEnbsp;
美国**号5,832,806
特点
▪ 数字控制E用户友好的LCD界面
▪ 用于Gimbal Piston™、CSP®和MaxDamp®隔振系统的非接触式电动气动高度控制
▪ Z轴位置重现性EE0微米
▪ 由于消除亁E统机械高度控制系统的杠杁E触E从而改喁EE振效果
▪ 气动前馈功能**限度地减少亁EEEX-Y平台运动皁E庁E/p>
▪ 可以谁E以快速稳由X-YE台引起皁E动
▪ 可选的“VX”功E雁EE亁E性传感器E用于动阻尼垁E直隔振器共振
▪ 丁Eldquo;软坞竁Erdquo;兼容。E许在没有运动安裁E惁EE下加载/卸载晶圁E/p>
▪ 相称皁E子E门、Eldquo;开关”或传统电子E不会产生脉冲噪声
▪ 排气管用于废气的渁E夁E
▪ 逻辑停靠控制和状态E/p>
见E
物琁E寸 |
PEPS® II控制器 1.72英寸EE3.7mmE髁Ex 8.0英寸EE03mmE宽 x 9.4英寸EE40 mmE深 |
重量 | PEPS® II控制器E约3.0磁EE.2十EEEE/td> |
环墁Ebr />
E参见EN 61010-1EE993, EN 61010-1/A2: 1995EE/td> |
**室冁E用EE*髁E,000米海拔!E560英尺EEbr />
**允许温度茁EEE°C***35°C **允许湿度EE1°C以下时为80EEE0°C时线性陁E**50EE对湿度 主电源电压容差EE5 VAC - 240 VAC 迁E压类别EE 污染等级EEEC 664E!E 通风要求:两侧间隁E5毫米E上下间隁E毫米 |
电源要汁E/td> |
电源输E电压范围EE0-230 VAC 输E频率茁EEE0-60 Hz |
PEPS® II用户界面 E前面板EE/td> |
电源开关 4个菜单按钮 LCD显示20 x 2个字符 2个诊断插座EENC型!Ebr /> 三色状态指示灯 USB 端口 |
PEPS® II 界面 E后面板EE/td> |
带EMI滤波器皁E流电源输E 1个空气输E卡入式端口E用亁E/4英寸外征E遁Ebr /> 1个空气输EE排气)卡入式端口E用亁E/4英寸外征E遁Ebr /> 4个空气卡入式端口E用亁E/4英寸外征E道(每个隔振器一个EEbr /> DB-25公头输E端-输E端和前馈插座 1个Phoenix 0.2英寸间跁E引E绿色接头E垂直接近传感器EEbr /> 1个Phoenix 3.5毫米间跁E引E黑色接头E水平接近传感器EEbr /> 接地螺纹螺柱E!E0-32螺纹EEbr /> DB-25 F插座EE个数字输E端EE个地霁E波器传感器接口EEldquo;-VX”选件EEbr /> DB-25 F插座EE个数字输E端EE个电流输E接近传感器E可选!E/td> |
PEPS® II 性能见E |
模拟输EE单极E!E x 12位!E6位使用迁E样E!E ... 3.0 V满量稁Ebr />
模拟输EE前馈)!E x 12佁Ebr />
EE6位使用迁E样E!Eplusmn;9 V满量稁Ebr />
模拟输EE单极E保护EE5伏!E0.5 V限幁Ebr />
模拟输EE前馈)保护EEplusmn;15伏限幁Ebr />
模拟输EEE x 12位!E6位使用釁EE!E ... 3.0 V满量稁Ebr />
模拟输EE可选)!E x 16位!E ... 3.0 V满量稁Ebr />
模拟输E保护E无限短路保护EE5伏限幁Ebr />
数字输E电压额定值EE ... +3.3 VEE5 V容差EE5伏限幁EEbr />
数字输E额定值EE ... + 3.3 VEE*20 mA 数字I/O保护EE5伏!E0.5伏限幁Ebr /> 外部可用电源!E5 VDCEE*2.0 AEE15 VDCEE*1.0 AEE*20瓦EEbr /> 通讯端口EUSBE在PC上显示为RS-232 夁E器EARM7TDMI / 41.78 MHz 控制回路玁EE00 Hz - 2.0 KHz 接近传感器EE个垂直、EE个水平可选)涡流ENAMUR 0-20 mA输E 速度传感器 - 地霁E波器EEldquo;-VX”选件E!E个垂直E电流输E |
气动见E |
**高度稳定性EEplusmn;50微米 **倾斜稳定性EEplusmn;50微弧度 伺服EEE x 双向可变节流孔比例伺服E 阀门技术E纯甲类 **输E压力EE20 PSI戁E.3巴戁E30 KPa 栁E耗气量EE0栁E十E刁EEE栁E立方英尺/刁EEEbr /> 空气要求:洁净、干燥皁E气,迁E***20微米或以丁Ebr /> 敁E安EE隔振器在电源故障E断电时会放氁Ebr /> 气动接头EEldquo;一触弁Erdquo;快速接头E适用亁E/4英寸外征E管 |
性能
夁E号EEnbsp;